两种含义
超精密加工零件有两种含义，一是指向传统加．上方法不易突破的精度界限挑战的加工，即高精度加工；二是指向实现微细尺寸界限挑战的加工，即以微电子电路生产为代表的微细加工。另外，超精密加工不仅涉及精度指标，还必须考虑到工件的形状特点和材料等因素。
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