超精密加工零件所能达到的精度、表面粗糙度、加工尺寸范围和几何形状是一个国家制造技术水平的重要标志之一。超精密加工技术是尖端技术产品发展中不可缺少的关键环节。例如,关系到现代飞机、潜艇、导弹性能和命中率的惯导仪表的精密陀螺、激光核聚变用的反射镜、大型天体望远镜的反射镜和多面棱镜、大规模集成电路的硅片、计算机磁盘及复印机
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